RTS-8四探針電阻率測試儀器

電阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可擴展)；  
方塊電阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可擴展)；
電導率：10^-5～10⁵  s/cm；

電阻：10^-5～10⁵  Ω；

可測晶片直徑

140mmX150mm(配S-2A型測試臺)；
200mmX200mm(配S-2B型測試臺)；

400mmX500mm(配S-2C型測試臺)；

恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續可調

數字電壓表

量程及表示形式：000.00～199.99mV；    
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；

顯示：四位半紅色發光管數字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標針：

間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應用參數 (見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)  0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整機測量大相對誤差(用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度≤5%

RTS-8四探針電阻率測試儀器測試模式：可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能（選配）軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數據，并統計分析測試數據大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數據生成直方圖，也可把測試數據輸出到Excel中，對數據進行各種數據分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口：并口，高速并行采集數據，連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5  秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時）。

標準使用環境溫度：23±2℃；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；